ម៉ាស៊ីនបូមធូលីត្រូវបានប្រើដើម្បីផ្លាស់ទី ឬដាក់ wafer ឬវត្ថុនៅក្នុងបន្ទប់បូមធូលីឯកទេស និងសម្រាប់កម្មវិធីគ្រប់គ្រងសម្ភារៈ។ ពួកវាផ្តល់នូវភាពបត់បែនកើនឡើង ពីព្រោះតំណភ្ជាប់រឹងមិនត្រូវបានប្រើ។ ឧបករណ៍បំភាយបូមធូលីមួយចំនួនរួមមានឧបករណ៍ម៉ោន ឬឧបករណ៍បញ្ចប់។ ផ្សេងទៀតរួមមានសោរផ្ទុក និងដំបងដែលញ័រ។ ជាញឹកញាប់ ឧបាយកលបូមធូលី ត្រូវបានប្រើដោយភ្ជាប់ជាមួយបន្ទប់បូមធូលី។ ឧបករណ៍ដោះស្រាយ wafer ឬមនុស្សយន្តគឺជាប្រភេទម៉ាស៊ីនបូមធូលីស្វ័យប្រវត្តិសម្រាប់ផ្លាស់ទី wafers ឬស្រទាប់ខាងក្រោមចូលទៅក្នុងឬចេញពី PVD, CVD, etching plasma ឬបន្ទប់ដំណើរការបូមធូលីផ្សេងទៀត។ ដើម្បីបង្កើតបន្ទប់បូមធូលី ម៉ូទ័របូមធូលី ឬម៉ូទ័របូមធូលី បូមខ្យល់ចេញពីនាវារហូតដល់សម្ពាធបរិយាកាសដែលចង់បានត្រូវបានសម្រេច។ ប្រសិនបើបន្ទប់បូមធូលីមានម៉ាស៊ីនបូមធូលីខ្ពស់ជ្រុល នោះម៉ាស៊ីនបូមធូលីជ្រុលខ្ពស់ និងម៉ូទ័របូមធូលីជ្រុលខ្ពស់ត្រូវតែប្រើ។
1. ការរចនាតែមួយគត់នៃ sucker អាចធ្វើឱ្យវត្ថុឡើងឬធ្លាក់ចុះតាមឆន្ទៈ ប៉ុន្តែក៏បង្វិលក្នុងទិសដៅណាមួយនៃកៅអីថេរនៃ sucker ដើម្បីធ្វើឱ្យប្រតិបត្តិការមានភាពងាយស្រួល និងត្រឹមត្រូវ។ ការរចនាឧបករណ៍បញ្ជាពីចម្ងាយនាំមកនូវភាពងាយស្រួលដល់ប្រតិបត្តិការ និងធានាសុវត្ថិភាពរបស់អ្នកប្រើប្រាស់។
2. ការគៀបនៃម៉ាស៊ីនបូមធូលីទទួលយកចានបូមដែលនាំចូលជាមួយនឹងកម្លាំង adsorption ដ៏រឹងមាំ សុវត្ថិភាពខ្ពស់ និងការការពារផលិតផលពីការខូចខាត។
3. ម៉ាស៊ីនស្ទូចបូមធូលីអាចយករបស់របរងាយផុយស្រួយ ពិបាកលើក និងផ្ទៃរលោងដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាព កាត់បន្ថយកម្លាំងពលកម្ម និងសន្សំសំចៃថ្លៃដើមសហគ្រាស។