ឧបាយកល pneumatic suction vacuum

ម៉ាស៊ីនបូមធូលីត្រូវបានប្រើដើម្បីផ្លាស់ទី ឬដាក់ wafer ឬវត្ថុនៅក្នុងបន្ទប់បូមធូលីឯកទេស និងសម្រាប់កម្មវិធីគ្រប់គ្រងសម្ភារៈ។ពួកគេផ្តល់នូវភាពបត់បែនកាន់តែច្រើនឡើង ដោយសារតែតំណភ្ជាប់រឹងមិនត្រូវបានប្រើ។ឧបករណ៍បំភាយបូមធូលីមួយចំនួនរួមមានឧបករណ៍ម៉ោន ឬឧបករណ៍បញ្ចប់។ផ្សេងទៀតរួមមាន សោរផ្ទុក និងដំបងដែលញ័រ។ជាញឹកញាប់ ឧបាយកលបូមធូលី ត្រូវបានប្រើដោយភ្ជាប់ជាមួយបន្ទប់បូមធូលី។ឧបករណ៍ដោះស្រាយ wafer ឬមនុស្សយន្តគឺជាប្រភេទម៉ាស៊ីនបូមធូលីស្វ័យប្រវត្តិសម្រាប់ផ្លាស់ទី wafers ឬស្រទាប់ខាងក្រោមចូលទៅក្នុងឬចេញពី PVD, CVD, etching plasma ឬបន្ទប់ដំណើរការបូមធូលីផ្សេងទៀត។ដើម្បីបង្កើតបន្ទប់បូមធូលី ម៉ូទ័របូមធូលី ឬម៉ូទ័របូមធូលី បូមខ្យល់ចេញពីនាវារហូតដល់សម្ពាធបរិយាកាសដែលចង់បានត្រូវបានសម្រេច។ប្រសិនបើបន្ទប់បូមធូលីមានម៉ាស៊ីនបូមធូលីខ្ពស់ជ្រុល នោះម៉ាស៊ីនបូមធូលីជ្រុលខ្ពស់ និងម៉ូទ័របូមធូលីជ្រុលខ្ពស់ត្រូវតែប្រើ។